Alは抵抗がAg,Au,Cuの次に低く、反射率が高く、自然酸化膜による耐食性が良好な材料である。近年では低抵抗で、高反射率からLCDやLED、ELなどの配線で広く使われている。反射は、青いろの短波長まで高反射率を保てるのはAlだけだから、ここをうまく利用したのが、ブルーレイなどの光学ディスク用途として。

ただし、Alの製法は厄介なんですよ。自然酸化膜が出来るくらい酸化し易い　

温度を掛けるとすぐ白濁しちゃうし、膜厚を厚くすると応力と酸化で白濁しちゃうし、真空度が悪いと白濁しちゃうしと　いやはやメンドクサイ。

ただし、最適条件を見つけられれば、これもいい膜が得られる　裏技製法もあるが時間が掛かるので、現代の市場にはあうのか　いずれにせよ、先述したITO、TiOxなどといっしょで、条件を見つけるメーカーはノウハウが大きいですね。今後の日本のメーカーが伸びていく糧となれば

光を受けて、有機汚染物質を酸化するので、光触媒用途や、屈折率が高いため、光学膜用途、もちろん透明導電膜としても研究されてたりする。結晶は無害で白いので、今後発展するであろう、電子ペーパーのホワイトに使われてたり、化粧品になんかも含まれてたりする

製法は、Ti、（TiO2）にOx+Ar、温度によって結晶化が進むので、光触媒作用のアナターゼやルチルの層が出来る。その中でも光触媒は、アナターゼ構造が能力が高いため、アナターゼの製法がいち早く研究盛んになっている

でも結構難しいので、ITO同様、圧力、酸素量、Powerなんかが重要。400度以上の高温で結晶化させるといい膜が出来上がる。がんばっていい膜つくろ～

透明で電気を流せる材料はほかにもIZO、AZO、ICO・・・・最近ではZnO系が活発に製品化を目指しておりますが、いやはやITOの天下は翻らないでしょう。透明性、電気特性、エッチング加工性などなど。

先日も記載しましたが、最適条件を見つけるのがITOよりも大変。なぜなら、ITOよりも特性が見出せていないため、ほんとにこの条件で良いの　っていう指標が、やはりITOとの比較になってしまう為、余計時間が掛かってしまう。温度を掛けても、非晶質であれば、変化しないし、ここはやはり圧力、Powerによって結晶制御をしていくと一番てっとりばやい。RF、DC電源での比較も行えどさほど変わらず

W密度や、応力もチェックポイント。　圧縮や引っ張り応力も膜にとっては厄介なファクター故、積層構造にする際も最適にしていくことがデバイスを組んでいく上でも重要に成りますね

電力Powerや圧力（Ar流量）や酸素分圧、温度など事細かに変化させ、その装置の最適条件を見つけ出す必要があり、ここが一番ポイント　0.1％酸素分圧を変えただけでも抵抗値や透過率、まったくガラット変わってしまう。InOxとSnOxが結合して電子欠損して電気が流れていくゆえ、びみゅ～なさじ加減が重要

酸素が多いと膜が黄色身を帯びたり、少ないと酸素欠損で茶色くなったりと結構シビアです。ブラッグの式なんかも使っちゃったりして。。TM法などもちいて最適条件を探しやすくしているメーカーも多いと思います。。ちょっとしたところでメーカーのノウハウにもつながるので材料屋の腕の見せ所ですね

どんな風に膜をつけるかというと、装置を真空に引いてあげて、そこにArのガスを流す。（Arなど希ガスはほかの原子と反応しにくいため、使用される。）真空に引いてあげると、ArがAr+とAr-に分かれやすくさせ、装置内でAr+、Al-が浮遊している状態になる。ここで、マイナスの電気を飛ばしたい金属に加えると、Ar+が飛び込んでくる。そのぶつかったAr+は金属原子を押し出し、その金属原子が飛ぶ方向へ付けたいものを置いておけば原子が堆積していく。スパッタは俗語で、つばを吐きかけるという意味があるようで、まったく同じような仕組みである。

ビリヤードみたいに原子をはじくイメージかな　これにより、バルク状のたとえばAuが膜としてAuになり、バルクと同じ特性が出せるため、たとえば、安定、電気抵抗が小さい、高反射、伸びるなど・・・というメリットが薄い膜でも発揮できる。だから、電子部品の配線、電極では欠かせない材料になっている。バルクだと重い＝値段が高いが膜にすれば、極少量＝安いにむすびつき現在は薄膜が欠かせないのも理解できるであろう

やっぱ膜ってすげ～なぁ～

最近よくCMで耳にするのが太陽電池。

シャープや、三菱重工など、工場増設なんてわざわざCMでやってるくらい今後の工業の主軸になっていくのでしょう。

太陽電池というと、結晶系と薄膜系、有機系があり、結晶系の技術が先行しており、7割くらいの市場であるが、今後の結晶Siの入手不足と、薄膜系の使いやすさより逆転していくのではないだろうか。まだまだ薄膜系の発光効率が悪く、今後に期待。薄膜はやっぱりスパッタで膜付けてるんですよね

最初から最後までスパッタで付けるため、20mから50mくらいにまで装置がなが～いんですよ。材料は裏面電極にAlやAg（主流）と太陽光を受けるために透明な電極膜ITO（IZO)が付けられます。効率上げるためには構造を変えてみたり、材料の最適化も重要になってきます。目指せ効率30%

ビルなんか見ると、鏡のようになってたり、黒味が掛かってたり、透明だったり。いろいろありますね～。

ガラスメーカーもしのぎを削って、さまざまな特性を持たせたガラスを開発している。熱を逃がさないガラスLow-Eなんて呼ばれてますが、これなんかは、光の波長を利用して、短い波長は透過させ、大きな波長は反射させるなんてかっこいい設計が施されている。ちょっと高いが。。　これもAg銀の膜が使われている。でもAgはさびやすい（温泉地では、Agの指輪が茶色くなっちゃう）のでZnなんかでサンドイッチさせ、保護しております。

最近では、光触媒の効果が有るTiOxの膜をコーティングして、汚れを分解したり、超親水化現象によって汚れを洗い流してしまうものもある。凄い　マニアックな話だと、TiOxをアナダーゼ型にすることもポイントだぞ。

これもみーんな膜の功績。やっぱりすごいぞ、すごいぞ

SHARP、EPSON、日立の３強かな。

2枚のシートに電極を走らせ、触ったところが電気が流れ反応していく、透明なシートに成膜させる技術もここ近年で大きく進化している。はじめITOって伊藤さんと勘違いし、そして、TiO2+InO2の合金と勘違いし、Tinっていきなり英語標記にならなくても・・・　

身近には、ポテトチップの内袋の銀色の部分　めがね、ガラスetc　特に恩恵に預かっているのがエレクトロニクスの分野だ　　ものすごく薄くなった薄型テレビや、携帯電話、カメラやPCは勿論全ての電子機器には膜が使われているんだ。

なのに～スパッタリング、蒸着、イオンビーム、CVDなどなどいろいろ作製方法は有るけれど、詳しく教えてくれているページが無いんだよね　ものすごく興味があるのに

スパッタリングなど膜の製法や面白そうなマニアックでコアな部分を書き綴っていき、最後は本にでも出版したいね。。